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    白光干涉薄膜厚度测试仪

    简要描述:白光干涉薄膜厚度测试仪,TF200根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜,还可以测量n和k值。

    • 产品型号:
    • 厂商性质:生产厂家
    • 更新时间:2023-06-29
    • 访  问  量:1543

    详细介绍

    品牌贝拓科学价格区间面议
    产地类别国产应用领域医疗卫生,生物产业

    仪器介绍   

        TF200薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜,还可以测量n和k值。


    产品特点

    快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

    白光干涉薄膜厚度测试仪

    应用领域

    半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等)

    LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)

    LED (SiO2、光刻胶ITO等)

    触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)

    汽车(防雾层、Hard Coating DLC等)

    医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)


    技术参数

    型号

    TF200-VIS

    TF200-EXR

    TF200-DUV

    TF200-XNIR

    波长范围

    380-1050nm

    380-1700nm

    190-1100nm

    900-1700nm

    厚度范围

    50nm-40um

    50nm-300um

    1nm-30um

    10um-3mm

    准确度1

    2nm

    2nm

    1nm

    10nm

    精度

    0.2nm

    0.2nm

    0.2nm

    3nm

    入射角

    90℃

    90℃

    90℃

    90℃

    样品材料

    透明或半透明

    透明或半透明

    透明或半透明

    透明或半透明

    测量模式

    反射/透射

    反射/透射

    反射/透射

    反射/透射

    光斑尺寸2

    2mm

    2mm

    2mm

    2mm

    是否能在线

    扫描选择

    XY可选

    XY可选

    XY可选

    XY可选

    注:1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。

           2.可选微光斑附件。


    产品咨询

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